極少量から精密に噴霧し、平均粒子径 5μm 程度の超微粒子を得ることができます。非常に小型なノズルで、20〜750ワットのエアーコンプレッサーで運転が可能です。主な使用用途に、表面薄膜コーティングや科学・医療分野における極少量の噴霧、室内や各施設などの殺菌、消毒などがあります。
AM6、12型は 極めて少ない流量を微細な粒子で噴霧する作業に適しております。圧縮気体流量も従来ノズルに比較し小流量です。主な使用用途として、半導体ウェハーへの精密スプレイ、電子部品・機能材料の製造工程における薄膜形成、散布・コーティングが挙げられます。